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2024-07-01 美国 entegris 在线气体过滤器MAX HT适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计 2.整体设计(148 毫米 [5.82 英寸])是类似过滤器的直接替代品3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统,并提供设计灵活性和多功能性4.特殊烘烤可快速启动气体输送5.低压差提供稳定且更好的物料输送
产物型号:MAX HT
厂商性质:经销商
更新时间:2024-09-06
访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量:610
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美国 entegris 在线气体过滤器MAX HT
适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。
1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计
2.整体设计(148 毫米 [5.82 英寸])是类似过滤器的直接替代品
3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统,并提供设计灵活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速启动气体输送
5.低压差提供稳定且更好的物料输送
Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用:CVD 工具使用点过滤器、热 N 2应用、TEOS 和高 k 等高温应用
美国 entegris 在线气体过滤器MAX HT
适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。
1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计
2.整体设计(148 毫米 [5.82 英寸])是类似过滤器的直接替代品
3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统,并提供设计灵活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速启动气体输送
5.低压差提供稳定且更好的物料输送
Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用:CVD 工具使用点过滤器、热 N 2应用、TEOS 和高 k 等高温应用
