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更新时间：2026-01-21&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
浏览次数：1一、共用平台：先厘清"相同" • 压力/流量：在 0.05–0.5 MPa 工厂气源驱动下，可输出 17.6 MPa 液体压力，流量 0.58 L min??，适合 50–200 μm 喷嘴的精密喷射 イプロスものづくり 。
• 外形：W123 × H116 × D296.5 mm，重约 3 kg，可水平或垂直嵌入清洗腔体，也能倒挂在移载臂上 イプロスものづくり 。
• 接液材质：泵头、柱塞均为 PTFE + 超高分子量聚乙烯，耐一般溶胀；关键差异就在 O-ring。
• 耗气量：约 70 L min??（60 SPM 时），对厂务空压系统负担小 シンアイ産業 。
• 防爆：无需电力，全部气动，可过 Ex 认证，用于 Class 1000 洁净室及要求防爆的溶剂间。
二、分道扬镳：密封材料决定化学兼容性 1. SSBL-37.5A KLM（FKM 规格）
密封圈：氟橡胶（痴颈迟辞苍/贵碍惭）
推荐介质：纯水、IPA（异丙醇）、丙酮、低浓度酸碱 イプロスものづくり
典型工艺：
– 晶圆 Jet-clean：高压 10 MPa 纯水扫片，去除抛光液残渣；
– IPA 干燥：8 MPa IPA 雾喷射，配合 Marangoni 干燥，无水印；
– 光刻胶剥离：低压 2–5 MPa 丙酮点喷，减少边缘残留。
优势：成本友好，FKM 密封件单价仅为 Kalrez 的 1/5，适合大批量、介质温和且更换周期短的产线。 2. SSBL-37.5A KLZ（Kalrez 规格）
密封圈：全氟醚 Kalrez（FFKM）
推荐介质：NMP、N-甲基吡咯烷酮、DMAC、DMSO、TMAH 等强极性、高沸点溶剂 イプロスものづくり
典型工艺：
– 金属剥离（Lift-off）：12 MPa NMP 扫描，溶解紫外胶与金属叠层；
– 聚酰亚胺清洗：热 NMP 90 °C 循环喷射，去除固化树脂；
– 铜布线去残胶：DMAC 点喷，高压穿透窄沟槽。
优势：Kalrez 在 200 °C 以下几乎零溶胀，长期连续运行 6–12 个月仍能维持压力稳定；减少停机换密封频率，综合拥有成本反而更低。
三、如何选型：一条"介质-温度-预算"的决策树 1. 介质只涉及纯水、IPA、丙酮、丁酮 → 选 KLM，足够。 2. 介质含 NMP、DMAC、DMSO、TMAH 或温度 > 80 °C → 直接上 KLZ，避免 FKM 溶胀导致压力漂移。 3. 工艺允许每月停机例行保养，且密封件作为耗材列入运营成本 → KLM 更经济。 4. 设备装在密闭腔体或高空轨道，换密封困难 → 一次性投入 KLZ，减少 MTTR（平均维修时间）。
四、维护小贴士 • 每次停机后，用 0.2 MPa 氮气把泵头残液吹扫干净，可延长密封寿命 30 % 以上。 • 若出现压力波动 > ±5 %，优先检查背压阀与喷头是否堵塞，再考虑更换 O-ring。 • Kalrez 虽耐化学性好，但对颗粒更敏感，建议在泵入口加 5 μm PTFE 折叠滤芯。 • 密封更换周期参考：FKM 连续运行 3–4 个月；Kalrez 6–12 个月，具体视溶剂纯度与温度而定。
五、结语
SSBL-37.5A 的 KLM 与 KLZ 版本，就像同一辆越野车配了两款轮胎：FKM 适合公路与轻越野，经济耐磨；Kalrez 则是全地形胎，泥泞山道也能长跑。把介质特性放在前面，再结合维护窗口与预算，就能让这台小巧的气动高压泵在晶圆、面板或锂电池前段线上，稳稳地跑出 17.6 MPa 的"高压人生"。
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