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更新时间:2026-01-21&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
浏览次数:1在工业现场,微量水分往往比温度、压力更“隐形",却能在关键时刻让产物报废、催化剂失效、甚至整批半导体晶圆报废。日本 TEKHNE 公司把“陶瓷阻抗"技术做到,推出了 TK-100 在线露点变送器——一款把“-100 °C 露点"做成标准工业品的“小钢炮"。今天,我们就从原理、结构到场景,拆解这台仪器的真正实力。
一、把“陶瓷片"做成微量水“天平"
TK-100 的核心是一层纳米级 Al?O? 陶瓷膜,上下覆铂电极。水分子进入孔隙后,会改变离子导电率;仪器用 1 kHz 交流电桥测出阻抗变化,再对照 NIST 溯源的露点-阻抗曲线,直接算出露点温度。
因为没有放射源、电解质和光学窗口,它几乎“零漂移"——数据<1 °Cdp/年,用户现场五年不标仍稳如初见。
二、-100 °C 不是“实验室传说"传统冷镜式到 -80 °C 已需要多级泵吸和冷源,而 TK-100 在 25 °C 环境温度下,靠一片陶瓷就能覆盖 -100 … +20 °Cdp,相当于 0.1 ppb~2.3×10? ppmV 的跨度。在半导体级 9 N 氮气中,-96 °Cdp 对应的含水量仅 2 ppb,TK-100 仍能给出 ±3 °C 以内的重复性,为晶圆厂“ppt 级"干燥提供实时判据。
三、在线拆装,不停机也能换探头工业最怕“停车标定"。TK-100 可选带压插拔阀(Purge port),在 30 MPa 管道中无需泄压,3 min 完成探头更换;316 L 表面电解抛光 Ra≤0.25 μm,满足 SEMI F20 的超高纯要求。输出标配两线制 4-20 mA,可直接进 DCS;拨码切换“露点"或“ppmV",无需软件。Modbus 版更支持 32 台串联,为大型空分装置节省一半布线成本。
四、场景实测:把“经验值"变成“数字票"华东某 12 英寸晶圆厂用途:CDA 主干网在线监测结果:TK-100 报警 -72 °Cdp,触发冷干机切换,避免光刻机镜头雾化,单次节省 200 万美元级停机损失。华北锂电干燥间用途:转轮除湿机出口反馈结果:把原先“每班人工抽检"改为“TK-100 闭环控制",干燥风露点稳定在 -55 °Cdp,极片批次含水率下降 18 %,涂布气泡缺陷率从 0.9 % 降到 0.1 %。西北空分 50 000 Nm?/h 制氮用途:分子筛出口保护结果:TK-100 提前 6 h 捕捉到 -70 °Cdp 上升拐点,判定分子筛破损,及时切换塔体,避免下游 PSA 催化剂“水中毒",挽回 30 吨催化剂更换费用。
结语当“ppt 级干燥"成为半导体、锂电、氢能的硬性门槛,TK-100 用一片陶瓷把“-100 °C 露点"从实验室搬到管道、反应釜、晶圆厂天花板。它不需要放射源许可证,也无需昂贵的冷镜维护,就能让微量水分“现形"。如果你正在为空分出口、高纯气柜或干燥间寻找“买得起、装得上、用得稳"的露点方案,日本 TEKHNE TK-100 几乎是一张“闭眼入"的门票。
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